dépôt chimique en phasevapeur assisté par plasma | dépôt en phase vapeur assisté par plasma | dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma | dépôt en phase vapeur activé par plasma
2. Metal organic chemicalvapour deposition (MOCVD)reactorsspecially designed for compound semiconductor crystal growth by the chemical reaction between materials specified in 3C003 or 3C004;
2. réacteurs de dépôt en phase de vapeur par procédé chimique organométallique (MOCVD) spécialement conçus pour la croissance cristalline de semi-conducteurs composés par réaction chimique entre des matériaux visés aux paragraphes 3C003 ou 3C004;
'Plasma assisted chemical vapour deposition reactor'
Date index:2023-08-26 -
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